• 多晶硅無塵車間設計施工

多晶硅無塵車間設計施工

產品報價 面議
  • 產品品牌:全立森凈化
  • 所屬類別:凈化工程
  • 產品單位:
  • 產品型號:N9~N5級
  • 產品數量:100
  • 發布時間:2021.05.05
企業名稱:江西全立森凈化工程有限公司   誠信企業 聯系人:何小敏 手機:13027287520
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產品詳情
【多晶硅無塵車間設計施工】

多晶硅無塵車間環境設施要求:


1 半導體級多晶硅還原廠房的還原爐室應按潔凈廠房進行設計,空氣潔凈度等級不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 的有關規定。當設有通往整理廠房的連廊時,連廊的空氣潔凈度等級和處理方法應與還原爐室的要求一致,宜符合本規范附錄C的規定。

??? 2 還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面,當采用水磨石地面時,應采取防靜電措施。墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹脂涂料。

??? 3 整理廠房空氣潔凈度等級及潔凈區劃分應按工藝要求設置,空氣潔凈度不應低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內裝修,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 的有關規定。

??? 4 整理廠房的潔凈房間地面宜采用環氧自流平地面、聚氯乙烯(PVC)膜材料或水磨石地面,地面應采取防靜電措施。

廠房空氣潔凈度等級、溫度、濕度的設計應滿足生產工藝要求。

存在下列情況之一時,空調系統應分開設置:

??? 1 凈化空調系統與一般空調系統;

??? 2 空氣中含有易燃、易爆物質;

??? 3 容易產生交叉污染,對其他工序的產品質量造成影響;

??? 4 對溫、濕度控制要求差別大;

??? 5 工藝設備散熱量相差懸殊。

保證空氣潔凈度等級的送風量應符合下列規定:

??? 1 5級~8級潔凈室送風量應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 的有關規定;

??? 2 生產太陽能級多晶硅的還原爐室,當空調系統為三級過濾時,其送風量應按換氣次數大于或等于6次/h計算。

潔凈室送風可采用集中送風或風機過濾機組送風的方式。

潔凈空調送風、回風和排風系統的啟閉應連鎖,正壓潔凈室連鎖程序應為先啟動送風機,再啟動回風機和排風機;關閉時連鎖程序應相反。

還原車間應獨立設置直流空調送風系統,不應回風。

腐蝕清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空調送風系統不宜回風。

潔凈空氣調節系統的新風集中處理時,新風處理機組應符合下列規定:

??? 1 新風應經過粗效過濾器處理;

??? 2 嚴寒地區新風應先預熱;

??? 3 送風機宜采取變頻措施。

空氣過濾器選用、布置應符合下列規定:

??? 1 空氣凈化處理應根據空氣潔凈度等級選用過濾器;

??? 2 空氣過濾器處理風量不應大于額定風量;

??? 3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調系統的正壓段;

??? 4 亞高效和高效過濾器宜設置在凈化空調系統的末端。

風機過濾機組的設置應符合下列規定:

??? 1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用;

??? 2 送風量應能調節;

??? 3 應便于安裝、維修及過濾器更換。

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信息來源:多晶硅無塵車間設計施工

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